2025年12月9日，由國(guó)林半導(dǎo)體主持編制的國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)首個(gè)《半導(dǎo)體級(jí)臭氧發(fā)生器技術(shù)要求》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)（T/CIET 1946-2025）正式發(fā)布實(shí)施。該標(biāo)準(zhǔn)制定促進(jìn)行業(yè)規(guī)范發(fā)展，推動(dòng)技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同，為半導(dǎo)體、面板顯示行業(yè)臭氧設(shè)備選型與應(yīng)用提供科學(xué)的量化依據(jù)。

一、填補(bǔ)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)臭氧標(biāo)準(zhǔn)空白，助力半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備規(guī)范化

        隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，關(guān)鍵工藝設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)化與國(guó)產(chǎn)化需求日益凸顯。臭氧發(fā)生器作為半導(dǎo)體制造中不可或缺的工藝設(shè)備，在薄膜沉積、清洗、去膠等關(guān)鍵環(huán)節(jié)發(fā)揮著重要作用，其技術(shù)性能與可靠性直接影響芯片制造的良率。

        長(zhǎng)期以來(lái)，我國(guó)在半導(dǎo)體級(jí)臭氧發(fā)生器領(lǐng)域缺乏統(tǒng)一的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，制約了行業(yè)規(guī)范化發(fā)展與自主創(chuàng)新。為此，國(guó)林半導(dǎo)體充分發(fā)揮技術(shù)領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)，牽頭啟動(dòng)了《半導(dǎo)體級(jí)臭氧發(fā)生器技術(shù)要求》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)的編制工作，通過(guò)構(gòu)建完善的技術(shù)指標(biāo)體系和可靠性規(guī)范，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)相關(guān)領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)空白。

二、凝聚產(chǎn)業(yè)力量，攜手助推標(biāo)準(zhǔn)落地

        2025年度內(nèi)，由國(guó)林半導(dǎo)體公司作為主要牽頭單位，聯(lián)合中國(guó)國(guó)際經(jīng)濟(jì)促進(jìn)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)化工作委員會(huì)及北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司、華海清科股份有限公司、拓荊創(chuàng)益（沈陽(yáng)）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司、北京電控集成電路制造有限公司、上海陛通半導(dǎo)體能源科技股份有限公司、北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司、盛吉盛半導(dǎo)體科技（無(wú)錫）有限公司、盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司、杭州星源馳半導(dǎo)體有限公司、江蘇亞電科技股份有限公司、上海至純系統(tǒng)集成有限公司、浙江啟爾機(jī)電技術(shù)有限公司、上海正帆科技股份有限公司、天津奧爾斯曼新能源科技有限公司、山東志偉環(huán)?？萍加邢薰竟灿?jì)17家單位，涵蓋半導(dǎo)體關(guān)鍵零部件、裝備以及終端用戶(hù)等眾多知名企業(yè)，共同對(duì)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行編制、研討與評(píng)審，確保了標(biāo)準(zhǔn)的科學(xué)性、適用性與行業(yè)代表性。

2025年3月5日，標(biāo)準(zhǔn)工作獲批立項(xiàng)；

2025年3月-8月，標(biāo)準(zhǔn)起草編制與意見(jiàn)征集；

2025年8月27日，《半導(dǎo)體級(jí)臭氧發(fā)生器技術(shù)要求》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)評(píng)審；

2025年9月19日，《半導(dǎo)體級(jí)臭氧發(fā)生器技術(shù)要求》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)完成批報(bào)；

2025年12月9日，《半導(dǎo)體級(jí)臭氧發(fā)生器技術(shù)要求》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)正式發(fā)布實(shí)施；  

三．以標(biāo)準(zhǔn)引領(lǐng)發(fā)展，助力半導(dǎo)體臭氧裝備國(guó)產(chǎn)化發(fā)展

        未來(lái)，青島國(guó)林半導(dǎo)體將繼續(xù)依托自身技術(shù)研發(fā)實(shí)力與產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn)，積極參與半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)體系建設(shè)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)高端裝備的標(biāo)準(zhǔn)化。公司將以該標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施為契機(jī)，持續(xù)優(yōu)化產(chǎn)品性能，為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供更可靠、高效的國(guó)產(chǎn)化解決方案，助力我國(guó)半導(dǎo)體臭氧裝備高質(zhì)量發(fā)展。